Refroidissement pour la lithographie EUV et la technologie laser

Lithographie EUV & Technologie laser : Refroidissement de précision pour une stabilité de faisceau maximale

Dans la lithographie EUV et la technologie laser, un refroidissement précis garantit une qualité de faisceau et une fiabilité maximales. COOLTEC assure stabilité et performance grâce à ses systèmes de refroidissement haute performance.

Pourquoi le refroidissement est essentiel dans la lithographie EUV et la technologie laser

Les systèmes laser et EUV génèrent d’énormes quantités d’énergie dans un espace restreint. De légères variations de température peuvent provoquer des dérives de faisceau, des pertes de puissance ou des erreurs optiques. Dans les lasers haute puissance et la fabrication de semi-conducteurs, la stabilité thermique est cruciale pour l’efficacité, la sécurité des processus et la qualité du produit.

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Sans refroidissement ciblé, les risques sont :

  • Instabilité du faisceau et perte de puissance due à la dérive thermique

  • Déformation des composants optiques

  • Durée de vie réduite des diodes laser, des optiques et de l’électronique

  • Arrêts imprévus et écarts de qualité en production

Solutions COOLTEC pour la lithographie EUV & la technologie laser

Avec COOLTEC, vous bénéficiez de systèmes de refroidissement spécialement conçus pour les exigences extrêmes de la technologie EUV et laser. Nos dissipateurs modulaires haute performance et nos systèmes de refroidissement liquide repoussent les limites thermiques de vos systèmes – avec une précision maximale et un encombrement minimal.

  • Températures de fonctionnement stables pour une qualité de faisceau maximale

  • Puissance laser accrue sans augmenter la taille du système

  • Gestion thermique écoénergétique pour un fonctionnement continu

  • Réduction des arrêts grâce à des performances de refroidissement fiables

  • Modules de refroidissement personnalisables – du prototype à la production en série

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Précision maximale, tolérances minimales

Que ce soit dans la fabrication de semi-conducteurs, la recherche ou les applications laser haute puissance – COOLTEC garantit que les systèmes optiques, les sources laser et l’électronique de puissance atteignent leur plein potentiel.

Questions fréquentes

  • Lasers haute puissance et diodes laser
  • Composants optiques et sources de faisceau
  • Électronique de puissance et unités de commande
  • Optiques EUV et modules de miroir

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Gestion thermique efficace pour l’industrie high-tech

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