Kühlung für EUV-Lithografie und Lasertechnik

EUV-Lithografie & Lasertechnik: Präzisionskühlung für maximale Strahlstabilität

In der EUV-Lithografie und Lasertechnik garantiert präzise Kühlung maximale Strahlqualität und Zuverlässigkeit. COOLTEC sorgt mit Hochleistungskühlungen für Stabilität und Performance.

Warum Kühlung in der EUV-Lithografie und Lasertechnik entscheidend ist

Laser- und EUV-Systeme erzeugen enorme Energiemengen auf kleinstem Raum. Schon minimale Temperaturabweichungen können Strahlabweichungen, Leistungsverlust oder optische Fehler verursachen. Besonders bei Hochleistungslasern oder in der Halbleiterfertigung ist thermische Stabilität entscheidend für Effizienz, Prozesssicherheit und Produktqualität.

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Ohne gezielte Kühlung drohen:

  • Strahlinstabilität und Leistungsverlust durch Temperaturdrift

  • Deformationen optischer Komponenten

  • Reduzierte Lebensdauer von Laserdioden, Optiken und Elektronik

  • Unerwartete Stillstände und Qualitätsabweichungen in der Produktion

COOLTEC-Lösungen für EUV-Lithografie & Lasertechnik

Mit COOLTEC profitierst du von Kühlsystemen, die speziell für die extremen Anforderungen der EUV- und Lasertechnologie entwickelt wurden. Unsere modularen Hochleistungskühlkörper und Flüssigkeitskühlsysteme ermöglichen dir, das thermische Limit deiner Systeme zu verschieben – bei maximaler Präzision und minimaler Baugröße.

  • Stabile Betriebstemperaturen für maximale Strahlqualität

  • Höhere Laserleistung bei identischem Bauraum

  • Energieeffizientes Thermomanagement für Dauerbetrieb

  • Reduzierte Stillstandzeiten durch zuverlässige Kühlperformance

  • Anpassbare Kühlmodule – vom Prototyp bis zur Serie

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Maximale Präzision, minimale Toleranzen

Ob in der Halbleiterfertigung, Forschung oder Hochleistungslaseranwendung – COOLTEC sorgt dafür, dass optische Systeme, Laserquellen und Leistungselektronik ihre volle Performance entfalten.

Häufig gestellte Fragen

  • Hochleistungslaser & Laserdioden
  • Optische Komponenten und Strahlquellen
  • Leistungselektronik und Treibereinheiten
  • EUV-Optiken und Spiegelmodul

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